High Efficiency Particulate Air Filterの略称。JIS Z 8122(コンタミネーションコントロールに関する主な用語及びその定義について) に、「定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対して99.97％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ」と規定されている。HEPAフィルタの粒子捕集効率を95％に下げた準HEPA、さらに効率を上げたULPAフィルタ（ウルパ：Ultra Low Penetration Air Filter：0.15 µm/99.9995％）があります。