活用事例
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半導体用ウェーハ圧関連
研磨パッドとウェーハとの間にセンサを設置することで圧力分布計測が可能になります。
多層化のための裏面研磨・パワー半導体用SiCなどにも応用できます。
リアルタイムな圧力分布を表示できる為、微弱な研磨圧管理に活躍します。
ハードディスク/シリコンディスク研磨にも応用できます。
＜適用＞
CMP研磨ヘッド・グライディング・ポリッシング・ラッピング・貼り合わせ(TSV)
接合・BGテープ貼付け等 -
半導体後工程関連
半導体チップの多層化にともない、ますますダイボンディング技術の高度化が必要となっています。
ボンダーヘッド加圧面の圧力分布をリアルタイムに表示し、平行調整をすることができます。
またワイヤーボンディング工程では、リードフレームとガイドとの間にセンサをセットすれば、リードフレームの固定ピンの押さえ圧分布を表示することができ、そのままピン調整することができます。これにより、調整時間短縮・溶着不良解消の一助になります。
＜適用＞
ダイボンディング・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディング・
リードフレーム押さえ圧等 -
プリンター関連
プリント微細化にともない、狭小化され並べられるインクヘッドの左右バランスを測定します。
プリンター内にある定着ロール間圧分布を空間分解能（1.0㎜）まで高めたセンサで測定することにより、ロールニップ時の左右圧バランス・幅が測定でき、素材・形状・周辺機構の開発に役立ちます。
また、ロール組み付け後の品質検査においても活用できます。
＜適用＞
定着部・用紙搬送部・用紙送り出し部・サーマルヘッド接触部 等 -
高機能フィルム関連
ウェブハンドリング技術向上が品質・歩留まり向上のカギとなる本分野では、大型ロールニップ間の左右バランス調整をすることで、フィルムの低張力と高速搬送を可能にさせます。
フィルム素材のセンサは、金属・ゴム等のロール表面素材にも対応するだけでなく、接続コネクタ数を増やせば、横幅方向の長さにも柔軟に対応します。
エア混入・蛇行・シワの防止策そして定量化した管理としてもお役立ちします。
＜適用＞
ラミネート・圧延・コーティング・印刷（精密転写）・搬送のローラー間圧 等
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電子部品積層プレス関連
電子部品業界のトレンドである小型化、多積層化への製品開発・品質向上に重要である積層プレス過程をリアルタイムに圧力分布測定が可能になります。
最大荷重２００００KPaのプレスにも対応し、加圧過程を測定することでその状況把握及び解析・調整・管理にお役立ちできます。
＜適用＞
FPC積層プレス・LCD基板積層プレス・積層セラミックコンデンサー等 -
液晶・タッチパネル関連
カバーガラスの貼付けプレス/ロール装置において、基板間にセンサをセットすると、加圧時のプレスヘッド面の面圧分布変化を時系列で測定できます。ギャップ調整・管理として使用できます。
また静電容量型タッチパネル貼り合わせ時のパネル・ロール間圧にも活用できます。
＜適用＞
LCD基板/偏向板/カバーガラス/タッチパネル/OCA/バックライトの貼り合わせ
TAB・ACF圧着部・基板研磨及び洗浄ブラシ圧 等 -
プリント配線板関連
携帯電話やタブレットPCに多用されるFCBGA基板やFCCSP基板の積層プレス工程は品質を左右する重要なポイントです。最大８８０ｘ５８０mmの面積を測定できるセンサは、プレス過程の加圧力分布過程を測定・録画・保存することができ、分析・調整することでプレス過程の平坦化に活用できます。
また、圧緩衝材の評価・選定の一助にもなります。
＜適用＞
プリント配線板積層プレス圧・銅張積層板プレス・スクリーン印刷スキージ圧・ドライフィルムラミ 等 -
太陽電池・燃料電池・リチウムイオン電池関連
導電フィルム圧着・ヒートシール工程は品質向上に不可欠です。
圧着・シール圧分布変化を時系列で測定することで機器調整と管理にお役立ちします。
また電極印刷時のスキージ圧バランスを静的にも動的にも測定することができます。
センサーをセットしたまま印圧調整を可能となります。
＜適用＞
太陽電池向け電極印刷・導電フィルム圧着部・FCスタック部・
リチウムイオン電池向電極板ロールプレス部・ヒートシール部・保護フィルム真空ラミネート部 等 -
食品・医薬関連
ヒートシール部の圧力バランスを視覚的かつリアルタイムに表示できます。
センサーがセットされた状態でピロー部調整を可能とする為、調整の時間短縮に役立ちます。
また、採取されたデータを保存しておくこともできるため、設備管理としてご使用頂くことも可能です。
＜適用＞
包装用ピロー部・カップシール部・深絞部・ラベル圧着部
製缶印刷ロール圧・アルミ缶ダイ加工プレス圧 等 -
その他のアプリケーション
HDD/CPUヒートシンク設置圧
内外装壁形状プレス圧
シャワー圧
ブロアー圧 -
体圧分布測定
・クッション、マットレスの圧力分布測定
・座位バランスの調整、解析
・クッション、マットレスの販促用途
・クッション、マットレスの適合評価
・学習用ツール -
足底圧測定
・インソール等の設計・評価
・適切な靴選び用ツール
・異常歩行の確認
・運動機能訓練前後の比較評価
・スポーツ時の足底圧の分布変化の確認
・体の重心バランスの評価 -
簡易測定・部品組込み
・ボタンスイッチの力制御
・タッチパッド用センサ
・機器の組込み用スイッチ用途
・締め付け圧の測定
・種々のグリップ力の測定
・種々の接触圧の測定
・種々の当たりの判定