製品情報

ホーム > 製品情報 > エアクリーン用製品 > ケミカルフィルタ > ギガウェーブ

プリーツ型ケミカルフィルタGIGAWAVE


特長

機器装置やクリーンルーム中に存在する微量の分子汚染物質の除去において、低圧力損失かつ高効率で効果を発揮するだけでなく、一般ビル空調、美術館博物館、その他外気処理でもその効果を発揮します。大きな濾材面積により、特に空調機などの多風量・高風速環境下でもこの効果が期待できます。
圧力損失は最小限に、ガス除去効率は最大限に効果を生かす、それがGIGAWAVEです。


用途

  • 電子デバイス系製造装置
  • FPD(フラットパネルディスプレイ)製造プロセス
  • 露光装置
  • 半導体レチクルストッカー
  • クリーンルームFFU
  • クリーンルームシステム天井のULPA上流側
  • 美術館、博物館の循環系統
  • ホテル、オフィスビルの循環系統

■ギガウェーブのろ材および対象ガス(代表例)

製品名 濾材種 用途 主な対象ガス種類
ギガウェーブHL 活性炭 有機系ガス除去 有機溶剤、フタル酸エステル、
リン酸エステル、シロキサンなど
ギガウェーブHS 強塩基性
イオン交換樹脂
酸性ガス除去 硫黄酸化物(SOx)、塩化水素、フッ化水素、
ギ酸、酢酸、ボロン、NO₂など
ギガウェーブHC 添着活性炭 酸性ガス除去 硫化水素、硫黄酸化物(SOx)、
塩化水素、フッ化水素、ギ酸、
酢酸、ボロン、NO₂など
ギガウェーブHR 強酸性
イオン交換樹脂
塩基性ガス除去 アンモニア、アミン類、
N-メチルピロリドンなど
ギガウェーブHA 添着活性炭 塩基性ガス除去 アンモニア、アミン類など

※ケミカルろ材の積層による混合ガス除去への対応も可能です。お問合せください。



■型式例             ■標準仕様

プリーツ
タイプ
N:
セパレータ無
S:
スタピライザ
A:
アルミセパレータ
標準寸法(HXWXDX) 610X610
X50
610X610
X100
610X610
X150
610X610
X292
定格風量(m3/min)
※1
10 20 28 56
推奨面風速(m/s)※2 0.5 1.0 1.4 2.8
圧力損失(Pa)※3 25以下 50以下 60以下 120以下
外観 上流側 >N:セパレータ無(上流) S:スタピライザー(上流) A:アルミセパレーター(上流)
下流側 >N:セパレータ無(下流) S:スタピライザー(下流) A:アルミセパレーター(下流)

※1 推奨最大風量です。ガス濃度や成分により処理風量も変わります。

※2 枠15㎜を除いた開口部の面風速です。

※3 圧力損失は定格風量時の実測代表値で、保証値ではありません。

奥行寸法にガスケットは含みません。上記以外のサイズにも対応可能です。お問合せください。

このページの先頭へ