ニッタのクリーンソリューション
導入事例を
３つ
ご紹介いたします。
事例1
半導体製造装置メーカー様
製品の不良率低下
課題背景
製品不良の原因となる装置内の有機物、
酸性物質、アルカリ性物質の除去
導入効果
- ニッタの「ケミカルフィルタ」で課題を解決
- 製品の不良率低下、歩留まりの向上により生産性が大きく向上
この事例の製品
ENILSORB
（エニルソーブ）
（エニルソーブ）
製造装置内や設備配管内の清浄化、給排気系で使用する圧縮空気内の微量ガスの除去に有効です。
特長
- エアー配管のインラインに簡単取り付け
- 酸性ガス、アルカリ性ガス、有機系ガスの除去が可能
- 流量、対象ガスに応じて自由に設計
GIGAWAVE
（ギガウェーブ）
（ギガウェーブ）
吸着基材である活性炭ベースのシートをプリーツ状に加工することで多風量、高風速環境でのご使用が可能となりました。
特長
- 機器装置やクリーンルーム内に存在する微量ガス状汚染物質の除去が可能
- 一般ビル空調、美術館、博物館、その他外気処理でもその効果を発揮
- ご使用の風量により、サイズ変更が可能
Tubescleaner
（チューブスクリーナー）
（チューブスクリーナー）
ニッタのチューブ継ぎ手技術である「ワンタッチ着脱」を採用。また樹脂チューブの柔軟性を活かした曲げ配管が可能となり、様々な複雑形状の機器装置内にもクリーンエア供給を実現します。
特長
- 軽量小型な樹脂チューブで、曲げながらの設置が可能
- ワンタッチで簡単に接続・交換が可能
- 低コストで高性能を実現
事例2
半導体・電子部品メーカー様 製造環境の管理
課題背景
ISO空気清浄度規格に準じた製造環境の管理を行いたい
導入効果
- 最小粒径0.1µmからの管理が可能
- しきい値を超えるとアラームを発報し、逸脱の早期発見
この事例の製品
流路切替方式ダスト監視システム
パーティクルカウンタ・センサユニット・モニタリングソフトウェアを組み合わせたシステム
半導体・電子部品工場の環境測定に適しています。パーティクルカウンタ1台をマニホールドに接続することで、最大32ポイントの測定が可能です。
各ポイントのチューブ長は50mまたは100mで、広範囲をカバーできます。
特長
- 全国の半導体メーカーで多数導入
- マニホールド非接触ノズルで低発塵
- 常時全ポイントを吸引しており、チューブ内部の粒子沈着を抑制
事例3
半導体メーカー様 圧縮配管の測定
課題背景
半導体製造装置への給気部分、排気部分のエアの清浄度を確認したい
導入効果
- 今まで測定できていなかった圧縮エアの清浄度の確認が可能に
この事例の製品
高圧配管測定
半導体工場における製造装置への給気・排気側等の圧縮配管の測定が可能
パーティクルカウンタと減圧器を組み合わせて使用
特長
- クリーンドライエア(CDA)、窒素(N₂)、アルゴン(Ar)に対応
- 最小粒径10nm, 0.1µm, 0.3µm, 0.5µmのパーティクルカウンタに対応したラインナップ
- 吸引前にサンプルの湿度を上げるためのエアを少し加えるため、非常に低い露点の空気を使用する電子機器製造用途の高圧ガス測定が可能
- ディフューザーの調整や校正は不要
導入の流れ
step01
ヒアリング
・参考御見積
・参考御見積
step02
仕様決定
・御見積
・御見積
step03
ご注文
step04
納品
（現地試運転調整）
（現地試運転調整）
御見積書は各段階で随時提出いたします。
※上記は一例となります。
お問い合わせ
この度はニッタ株式会社の製品をご覧いただき
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お問い合わせや資料請求は下記にて受け付けております。
ニッタ株式会社
クリーンエンジニアリング事業部 機器営業部
